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燃烧(电)+湿法废气处理机系列

湿法+燃烧废气处理

产品性能:

◆LPCVD、PECVD、刻蚀等的废气处理

◆采用电热/气燃烧方式,内部喷淋水/配液循环,液体成分监测、具有自动补水补液

◆处理能力,科研型:100SLM,生产型:400/600/1000/1500SLM...


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